板式PECVD上下料機
        
                        
        
                            
                            產品特點
                        
        
                        
        
                            
        最高產能可達到6000pcs/h 
        可根據客戶需求進行定制 
        設備結構簡單穩定
                                
        
                    
        
                    
                    
        
                    
        
                        
        
                            
                            
                        
        
                        
        
                            
        技術參數
        技術參數相關參數
        產速 4000 /6000 pcs/h(可訂制)
        碳框尺寸 
        10*10（5*5，5*6，8*10,9*10 可選）
        硅片尺寸 
        166mm-210mm
        碎片率  ≤0.02%
        開機率≥98%
        功率15kW
        耗氣量500L/min
        具體參數如有變動，本公司不另行通知！
                                
        
                    
        
                    
              
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