板式PECVD上下料機(jī)

        產(chǎn)品特點(diǎn)

        最高產(chǎn)能可達(dá)到6000pcs/h 

        可根據(jù)客戶需求進(jìn)行定制 

        設(shè)備結(jié)構(gòu)簡單穩(wěn)定

        技術(shù)參數(shù)

        技術(shù)參數(shù)相關(guān)參數(shù)
        產(chǎn)速 4000 /6000 pcs/h(可訂制)
        碳框尺寸 

        10*10(5*5,5*6,8*10,9*10 可選)

        硅片尺寸 

        166mm-210mm

        碎片率  ≤0.02%
        開機(jī)率≥98%
        功率15kW
        耗氣量500L/min
        具體參數(shù)如有變動(dòng),本公司不另行通知!
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