擴(kuò)散/氧化/退火上下料機(jī)

        產(chǎn)品特點(diǎn)

        最高產(chǎn)能可達(dá)到16000pcs/h

        可根據(jù)客戶需求進(jìn)行配置

        特制精密陶瓷吸盤(pán),陶瓷頂齒,陶瓷側(cè)齒,減少硅片劃傷,保證設(shè)備的穩(wěn)定性

        技術(shù)參數(shù)

        技術(shù)參數(shù)相關(guān)參數(shù)
        產(chǎn)能8000/11000/16000 pcs/h
        石英舟規(guī)格 1000/1200/1600槽 ,節(jié)距2.38mm
        硅片尺寸 166mm-210mm
        適用花籃100 cassette
        碎片率≤0.03%
        開(kāi)機(jī)率≥98%
        耗氣量1000L/min
        具體參數(shù)如有變動(dòng),本公司不另行通知!
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