擴散/氧化/退火上下料機
        
                        
        
                            
                            產品特點
                        
        
                        
        
                            
        最高產能可達到16000pcs/h
        可根據客戶需求進行配置
        特制精密陶瓷吸盤,陶瓷頂齒，陶瓷側齒，減少硅片劃傷，保證設備的穩定性
                                
        
                    
        
                    
                    
        
                    
        
                        
        
                            
                            
                        
        
                        
        
                            
        技術參數
        技術參數相關參數
        產能8000/11000/16000 pcs/h
        石英舟規格 1000/1200/1600槽 ，節距2.38mm
        硅片尺寸 166mm-210mm
        適用花籃100 cassette
        碎片率≤0.03%
        開機率≥98%
        耗氣量1000L/min
        具體參數如有變動，本公司不另行通知！
                                
        
                    
        
                    
              
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